2007年12月19日，中科院微电子所微电子设备技术研究室成立，夏洋研究员担任研究室主任。研究室的主要研究方向包括新型集成电路制造与测试装备、新型太阳能电池制造技术和装备、高效率LED(发光二极管)制造技术和装备、MEMS(微机电系统)加工技术和装备及关键的射频功率源系统技术。

　　凭借近30年的技术积累以及全体人员的努力，经过近5年时间的发展，研究室的研究成果占领国内IC(集成电路)领域新原理设备制高点，在国际上与现有技术生产厂商形成竞争态势，设备主要包括等离子体浸没注入机、原子层沉积设备、光学检测系统、射频电源等，当前研究室的产品已广泛用于国际国内涉及微电子、光电子、MEMS等领域的企业、高校及研究机构。

　　近日，仪器信息网编辑特别采访了夏洋主任，请他谈了谈研究室在仪器设备研制、产业化方面的经验及我国科学仪器研制的政策支持情况。

在仪器研制方面都有哪些经验?

　　“5年前，当时微电子研究所里有三四个仪器研究团队，都是一个研究员带几个助手，大家各自为战，这样力量比较分散，于是我向所里建议把这些团队合并起来，所里对我们的建议很支持，希望我们能将微电子设备技术的研究做大、做强，在2007年末正式成立微电子设备技术研究室”，夏洋主任介绍说。

　　(1)进行团队建设，坚持做好一件事

　　“研究室成立后所里进行仪器研制的各项资源就集中起来，之后我们又购置研制仪器所需的各项装备、招聘所需的人才，这样我们的研究平台就形成一定的规模。起初我们只有30人左右，当时也不好招人，没人愿意来，缺乏相关专业的人才，现在随着我们科研能力的提升，以及国家对仪器行业投入的加大和重视，来自海外和国内的求职者都特别多，至今已形成了约150人的团队。”

　　“在我们的团队中不仅有4名国家‘千人计划’人才，七八名‘百人计划’人才，还有十几名退休返聘人员，他们年龄最大的有70多岁。在管理机制方面，我们也不会墨守成规，在我们的团队中有人想创业，我们也允许他们一边做科研，一边组织团队成立公司。我们坚持唯才是用，只要是有用的人才，我们不会去限制他们发挥自己的才能，而是为他们提供机会更好地展示自己的能力。”

　　(2)科研和生产两条腿走路，在资金和技术方面相互支撑

　　资金短缺也是仪器研制当中常常面临的一个问题，很多项目研制出一台样机之后，由于没有后续资金支持，进行进一步的商品化开发，所以就被搁在实验室里，很难对国外仪器形成竞争，对我国的科研开发也难谈真正的贡献。

　　夏洋主任介绍说：“研究室现在是科研和生产两条腿走路，这两部分工作在资金和技术上相互支撑。我们一边进行仪器研制，一边生产仪器进行销售，同时我们和企业也有一些合作项目。在销售方面我们现在还没有开始做太多的工作，客户主要集中在科研院所，每年销售收入在1000万至2000万元。”

　　“现在我们研制第一台样机基本都是依靠国家资金的支持，第二台样机的研制经费就得靠自己来解决，做到第三台样机，我们就争取订货销售出去。目前我们已经形成了这样一个良好的工作局面。”

　　(3)和企业合作是进行仪器研发的一个非常重要的方向

　　“另外，仪器研发和企业合作是一个非常重要的方向，关起门来搞科研容易与社会需求脱节。而且仪器研制中硬件技术是一方面，方便用户操作使用，以及更好地解决实际应用问题，这是另一方面，之前已经有不少企业和我们合作，他们的思路和看问题的角度与我们不一样，对我们来说帮助很大”，夏洋主任谈到。

　　“同企业的合作中存在的一个主要问题是，对于市场的变化，企业更多的是关注眼前，‘看单下菜’，难以做出长远的布局，这样在市场竞争中，很难抢占先机。所以在合作中，我们需要更多的沟通和理解。”

　　“同时和企业合作，信任度以及利益分配机制也是一个的问题。解决这一问题的主要方式是双方在合作中要有诚意。一般在合作中，我们希望企业人员参与研发过程，并将相关的技术教给他们，同时项目交接后我们也派出团队去企业当中，进行后续跟进，帮助企业解决问题，这样既帮助企业培养人才，解决问题，同时对于防止我们自己的人才流失也很有帮助。在资金方面，对于企业来说他们会担心投资风险，所以目前我们的合作方式一般是先直接收取一部分资金用于研发，另外一部分资金从项目投产后的长远收益中获得。”

　　(4)未来瞄准教学仪器市场

　　对于研究室未来的研究规划，夏洋主任表示，“我们发现随着仪器自动化、智能化的提升，以及昂贵的价格，使学生的动手能力受到了很大的限制。所以我们希望能做一些教学仪器，这类仪器要很好的展示仪器原理和设计，操作性强，要能够更好地互动。进口仪器现在还没有关注这一领域，而且我们做这类仪器有成本优势，所以市场前景还是比较乐观。”

　　国家对科学仪器研制的资金支持情况?

　　谈到近年来国家对于科学仪器研制的资金支持情况，夏洋主任说到：“我国的科学仪器行业的发展从建国到改革开放逐渐发展到一个顶峰，后来逐渐稳定下来，从上个世纪九十年代开始，国家逐渐重视科学仪器的发展，现在经过多年的发展正在逐渐达到另一个峰值。”

　　“1993年，在国家财政依然十分紧张的情况下，中科院就设立了仪器设备的专项资金。至2000年，共支持研制和改造科学仪器科研项目总数达400余项，支持经费总额约为1.5亿元。截止到2006年底，中科院科学仪器自主研制项目从最初的每年8项增长到每年40多项，累计总投入约3.7亿元，平均项目支持强度超过200万元。”

　　“国家自然科学基金委(基金委)于1998年设立了科学仪器基础研究专项，当年一共资助了5个项目，总资助经费400万元。而到2011年，基金委科学仪器基础研究专项共资助55项，金额1.5亿元，并启动了国家重大科研仪器设备研制专项，首批重大科研仪器设备研制专项资助9项，金额5.7亿元。”

　　“另外，科技部、财政部2011年首次启动‘国家重大科学仪器设备开发专项’。重点支持具有市场推广前景的重大科学仪器设备开发，每年的支持金额达到数十亿元。”

　　科学仪器研制还需要哪些方面的支持?

　　国家对于科学仪器研制的资金支持，可以说是达到了前所未有的高度，那么在项目执行当中，还需要注意哪些问题呢?夏洋主任也谈了几点自己的看法。

　　(1)选择具有研发实力的企业给予支持

　　“现在我国提倡技术创新应以‘企业创新为主体’，国家重大科学仪器设备开发专项也优先支持科学仪器设备企业作为实施主体的项目。创新是一个研发的过程，需要企业有配套的研发人员及研发平台。中国的企业大部分没有成型的研发队伍，企业有生产能力，但研发能力不一定强，所以要确保项目的顺利完成，一定要对企业的综合研发实力，以及进行某类具体仪器研发的技术积累进行考核。”

　　(2)国家整体政策要配套

　　“另外，国家整体政策不配套也是一个问题，比如按照《科学研究和教学用品免征进口税收规定》，我们现在进口科研仪器整机是免税的，但进口零部件不免税，所以研发仪器的成本比整机要贵很多，这样是不利于促进科研院所的老师们进行仪器研制的。”

　　(3)进行科学仪器研制平台建设

　　“此外，我认为仪器研发一定要进行团队或平台建设才行，一方面仪器研发是多种技术的融合，需要的综合知识特别强，如物理、化学、材料、机械设计、自动控制、软件等，所以一定要注意合作和团队建设，一个人单独做很难完成。”

　　“另外仪器的研制需要一代一代的坚持研究，在仪器研制过程当中，搭建出来的第一台仪器只要自己能用就已经很了不起;然后再通过不断改进，推出第二台样机，如果第三台能做成商业机型就已经很顺利，从开始研制到最后实现产业化，整个过程大概得三五年时间，甚至更长才行。现在许多老师，在仪器研制方面有好的想法，但是带着一批学生做了3年之后，学生毕业了，课题经费也没有了，这个项目就结束了，没有持续跟进。”

　　“研制仪器需要不断的坚持，国外的许多仪器企业都有上百年的历史，其实从原始创新到实现商业化产品，一般也得10-20年的时间，然后再通过一代一代的积累和更新，仪器的性能越来越好。所以如果通过买仪器来做研究，我们在技术起步上至少比别人落后10-20年，很难实现超越。”

　　“因此国家或许可以设置专门进行仪器研发的重点实验室，这样有一个固定的人员和研发平台，希望通过持续的研究能实现从原始创新，到研制出可用于科学研究的仪器，最后到实现规模化生产的仪器这一流程，而不是半途而废，这样我们的科学仪器事业才能逐渐发展起来。”

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